[实用新型]微型流体控制装置有效
申请号: | 201820233052.7 | 申请日: | 2018-02-09 |
公开(公告)号: | CN208702654U | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 莫皓然;张英伦;陈世昌;林志峰;韩永隆;黄启峰;蔡长谚 | 申请(专利权)人: | 研能科技股份有限公司 |
主分类号: | F04B43/04 | 分类号: | F04B43/04 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 聂慧荃;郑特强 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种微型流体控制装置,包含:一进气板;一共振板,供与该进气板组配结合:一压电致动器,与该共振板组配结合,包括有:一悬浮板,具有一第一表面及一第二表面;一外框,环绕设置于该悬浮板的外侧,并具有一组配表面;至少一支架,连接于该悬浮板与该外框之间,以提供弹性支撑该悬浮板;以及一压电元件,贴附于该悬浮板的第二表面上,用以施加电压以驱动该悬浮板弯曲振动;其中,该至少一支架成形于该悬浮板与该外框之间,并使该悬浮板的第一表面与外框的组配表面形成为非共平面,且使该悬浮板的第一表面与该共振板之间保持一腔室间距。 | ||
搜索关键词: | 悬浮板 外框 组配 第一表面 第二表面 控制装置 微型流体 共振板 进气板 压电致动器 表面形成 弹性支撑 非共平面 环绕设置 施加电压 弯曲振动 压电元件 支架成形 贴附 振板 支架 驱动 | ||
【主权项】:
1.一种微型流体控制装置,包含:一进气板;一共振板,供与该进气板组配结合;以及一压电致动器,与该共振板组配结合,包括有:一悬浮板,具有一第一表面及一第二表面;一外框,环绕设置于该悬浮板的外侧,并具有一组配表面;至少一支架,连接于该悬浮板与该外框之间,以提供弹性支撑该悬浮板;以及一压电元件,贴附于该悬浮板的第二表面上,用以施加电压以驱动该悬浮板弯曲振动;其中,该至少一支架成形于该悬浮板与该外框之间,并使该悬浮板的该第一表面与外框的该组配表面形成为非共平面,且使该悬浮板的该第一表面与该共振板之间保持一腔室间距。
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