[实用新型]一种柔性基片衬底的异质结构器件有效
| 申请号： | 201820234722.7 | 申请日： | 2018-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN208189597U | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 李双美;张东;何乔;李关民;王敏 | 申请（专利权）人： | 沈阳工程学院 |
| 主分类号： | H01L29/861 | 分类号： | H01L29/861;H01L29/45;H01L29/24;H01L21/34;C23C14/35;C23C14/08;C23C14/06 |
| 代理公司： | 沈阳铭扬联创知识产权代理事务所(普通合伙) 21241 | 代理人： | 吕敏 |
| 地址： | 110136 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种柔性基片衬底的异质结构器件，属于电子器件技术领域。该器件从下到上依次包括聚酰亚胺柔性衬底层、第一导电薄膜层、Ga2O3材料层、VO2材料层、第二导电薄膜层及抗腐蚀保护层。本发明采用聚酰亚胺(PI)材料作为衬底基片，采用Ga2O3作为缓冲层，采用AZO作为器件的导电电极，蒸镀TiN材料作为抗腐蚀保护层，可以缓解聚酰亚胺(PI)与VO2材料晶格失配大的难题，可以制备出高质量的VO2材料，导电性能大幅度提高、电阻率降低，TiN薄膜与AZO透明导电薄膜的融合度高，有效解决了器件的腐蚀问题，进一步提高了器件的使用寿命。该器件功率大，可实现规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 聚酰亚胺 抗腐蚀保护层 异质结构器件 导电薄膜层 柔性基片 材料层 衬底 透明导电薄膜 柔性衬底层 材料晶格 衬底基片 导电电极 导电性能 电子器件 规模生产 器件功率 使用寿命 有效解决 电阻率 缓冲层 融合度 失配 蒸镀 制备 薄膜 腐蚀 缓解 | ||
【主权项】：
1.一种柔性基片衬底的异质结构器件，其特征在于：从下到上依次包括聚酰亚胺柔性衬底层、第一导电薄膜层、Ga2O3材料层、VO2材料层、第二导电薄膜层及抗腐蚀保护层。
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