[实用新型]一种换热冷却装置以及光刻机有效
| 申请号： | 201820235913.5 | 申请日： | 2018-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN208569296U | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 赵建军;付辉;赵滨;梁湧 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种换热冷却装置以及光刻机。所述换热冷却装置包括壳体以及设置于由所述壳体限定的腔室内的中间夹层，所述中间夹层为网状支架结构，所述腔室和所述网状支架结构共同构成冷却介质流通的通道。本实用新型中的壳体腔室内的中间夹层为网状支架结构，在腔室内构成冷却介质流通的通道，使得壳体与需冷却部件接触的面积均为通路接触面积，加快了对需冷却部件的换热冷却速率，从而提高了产率。另外，对于需冷却部件的温度小于或等于160℃时，使用现有的冷却介质，需冷却部件的温度大于160℃时使用氮气或惰性气体作为换热冷却介质，更加有利于提高换热冷却速率，从而进一步的提高了产率。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却部件 换热冷却装置 换热冷却 冷却介质 网状支架 中间夹层 壳体 本实用新型 光刻机 室内 产率 氮气 惰性气体 通路接触 壳体腔 流通 腔室 | ||
【主权项】：
1.一种换热冷却装置，其特征在于，包括壳体以及设置于由所述壳体限定的腔室内的中间夹层，所述中间夹层为网状支架结构，所述腔室和所述网状支架结构共同构成冷却介质流通的通道。
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