[实用新型]一种靶材帮定自动控温装置

摘要

本实用新型公开了一种靶材帮定自动控温装置，控制单元的输入端电连接各热电偶，以实现接收各热电偶的电流信号或电压信号；控制单元设置有时间温度比较单元，控制单元电连接时间温度比较单元，以实现将各热电偶的电流信号或电压信号与存储在记录仪中的时间温度比较曲线或时间温度对照表进行比较。本实用新型通过记录仪记录并保存加工过程的带有时间标记的热电偶的电压信号，形成一时间温度比较曲线，在批量加工过程中将当前各热电偶的电压信号与时间温度比较曲线的相应时间点的电压信号比较，自动控制背板的温度，提高靶材帮定质量。

主权项

1.一种靶材帮定自动控温装置，包括三相交流电源、温控器、可控硅模块、控制单元和用于安装背板的背板加热平台，背板加热平台间隔安装有若干发热管，背板加热平台的底面对应发热管的位置分别安装有热电偶，其特征在于：若干发热管并联形成一发热管组支路，可控硅模块和发热管组支路串联而成一加热支路；三相交流电源的三个电极分别电性连接三个加热支路的第一端，三个加热支路的第二端电性连接于一结点，形成一星形连接的三相交流电源工作电路；每个可控硅模块分别具有至少一可控硅触发器，控制单元的各信号输出端分别电连接相应的可控硅模块的可控硅触发器；控制单元设置有记录仪，温控器的输入端分别电连接各热电偶，温控器的输出端电连接于记录仪，记录仪电连接控制单元，以实现保存带有时间标记的热电偶的电流信号或电压信号，并存储形成一时间温度比较曲线或时间温度对照表；控制单元的输入端电连接各热电偶，以实现接收各热电偶的电流信号或电压信号；控制单元设置有时间温度比较单元，控制单元电连接时间温度比较单元，以实现将各热电偶的电流信号或电压信号与存储在记录仪中的时间温度比较曲线或时间温度对照表进行比较。