[实用新型]一种小型真空磁控溅射镀镆实验机有效
| 申请号： | 201820252321.4 | 申请日： | 2018-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN207845766U | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 李双江;董顺;曹崇友 | 申请（专利权）人： | 沈阳鹏程真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 沈阳技联专利代理有限公司 21205 | 代理人： | 张志刚 |
| 地址： | 110000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种小型真空磁控溅射镀镆实验机，涉及一种镀镆实验机，所述镀镆机包括真空室、支撑真空室的机台；真空室的上端法兰连接升降样品台总成，下端法兰连接磁控溅射靶总成；真空室的前端设有带观查窗的门，真空室的后端设有涡轮分子泵的接口；真空室的左侧设有一个磁力传递杆，磁力传递杆的前端安有机械手；真空室的右侧设有一个过渡仓，过渡仓与真空手套箱相连接，过渡仓前端设有一个过渡仓门。本实用新型把真空手套箱和小型真空磁控溅射镀镆机连接在一起，利用真空手套箱内惰性气体保护基片不氧化、不受污染，提高镀膜质量，保证实验的成功率。 | ||
| 搜索关键词： | 真空室 过渡仓 磁控溅射 小型真空 实验机 真空手套箱 磁力传递 惰性气体保护 机台 本实用新型 磁控溅射靶 升降样品台 涡轮分子泵 上端法兰 下端法兰 有机械手 真空手套 观查窗 镀膜 成功率 支撑 污染 保证 | ||
【主权项】：
1.一种小型真空磁控溅射镀镆实验机，其特征在于，所述镀镆机包括真空室、支撑真空室的机台；真空室的上端法兰连接升降样品台总成，下端法兰连接磁控溅射靶总成；真空室的前端设有带观查窗的门，真空室的后端设有涡轮分子泵的接口；真空室的左侧设有一个磁力传递杆，磁力传递杆的前端安有机械手；真空室的右侧设有一个过渡仓，过渡仓与真空手套箱相连接，过渡仓前端设有一个过渡仓门。
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