[实用新型]一种石墨导流筒装置、锥形热场及单晶炉有效
| 申请号： | 201820255779.5 | 申请日： | 2018-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN207919016U | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 潘清跃;姜宏伟 | 申请（专利权）人： | 南京晶能半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 张弛 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种石墨导流筒装置，其中导流筒包括锥形内顶、承载于锥形内顶底部并向下延伸的内筒、承载于内筒底部的锥内衬套；锥形内顶、内筒、锥内衬套三个部分通过“突台挂靠在承载部”的方式进行安装，实现嵌套的安装方式，便于安装及拆卸，同时安装精度也能够得到保证。通过该种结构，在需要对导流筒清理时，可以先将位于下方的锥内衬套先吊取出，再将内筒吊取出，最后将锥形内顶吊取出，分成三部分吊取减小了每次吊取作业的难度，便于实现清理作业。本实用新型也提供了包含上述石墨导流筒装置的锥形热场及单晶炉。 | ||
| 搜索关键词： | 内顶 内筒 石墨导流筒 内衬套 本实用新型 取出 承载 单晶炉 导流筒 热场 安装方式 便于安装 向下延伸 嵌套的 减小 突台 拆卸 挂靠 保证 | ||
【主权项】：
1.一种石墨导流筒装置，其特征在于：包括上支撑板(1)、位于上支撑板(1)下方的中部支撑盘(2)、承载于上支撑板(1)上的锥形内顶(3)、承载于锥形内顶(3)底部并向下延伸的内筒(4)、承载于内筒(4)底部的锥内衬套(5)、位于锥内衬套(5)底部并承载锥内衬套(5)底部的底部支撑件(6)、承载于中部支撑盘(2)上并向下延伸的外衬套(7)；锥形内顶(3)向下贯穿上支撑板(1)及中部支撑盘(2)；所述上支撑板(1)中间设有第一圆形开口(11)；中部支撑盘(2)中间设有第二圆形开口；所述锥形内顶(3)为中空的，锥形内顶(3)包括倒圆台形外壁(31)，该外壁(31)顶部外缘向外突出第一突台(32)，且第一突台(32)以挂靠方式承载于上支撑板(1)的第一圆形开口(11)侧缘上，锥形内顶(3)通过第一圆形开口向下延伸；所述锥形内顶(3)的底部向内突设有第一承载部(33)，所述内筒(4)的顶部设有向外突出有第二突台(41)，且第二突台(41)位于锥形内顶(3)内并以挂靠方式承载于第一承载部(33)上；所述锥内衬套(5)为倒圆台形的中空套体；内筒(4)的底部向内突设有第二承载部(42)，所述锥内衬套(5)的顶部设有向外突出有第三突台(51)，且第三突台(51)位于内筒(4)内并以挂靠方式承载于第二承载部(42)上。
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