[实用新型]一种基于容栅的非接触式位移传感器有效
| 申请号： | 201820256718.0 | 申请日： | 2018-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN207881638U | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 伍活民;陈文锡 | 申请（专利权）人： | 江门市银象科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B7/02;G01D5/56;G01D5/58 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 梁嘉琦 |
| 地址： | 529000 广东省江门市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于容栅的非接触式位移传感器，将传统容栅位移传感器的定极板作为静栅单元，将动极板作为动栅单元，与高精度位移传感器集成于读数头中，在结构上相当于读数头与静栅单元组成容栅位移传感器，控制器同时获取容栅位移测量数据和高精度位移测量数据，以容栅的数据作为基准加插高精度位移传感器的位移数据提高测量精度，因此本实用新型既可以做到高精度位移传感器的高速高精度性能，也可以做到容栅位移传感器的绝对值输出数和快速响应功能，实现切换绝对值和非绝对值输出，且本实用新型以电容变化、位移量或磁感为基础测量，对测量环境中的灰尘和强光不敏感，具有很高的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 高精度位移传感器 容栅位移传感器 本实用新型 容栅 非接触式位移传感器 读数头 静栅 测量 强光 容栅位移测量 测量数据 电容变化 动栅单元 基础测量 精度位移 快速响应 位移数据 控制器 不敏感 定极板 动极板 输出数 位移量 磁感 输出 | ||
【主权项】：
1.一种基于容栅的非接触式位移传感器，其特征在于：包括静栅单元(1)和用于获取位移数据的读数头(2)，所述读数头(2)包括动栅单元(3)、高精度位移传感器(4)和用于读取所述动栅单元(3)及高精度位移传感器(4)的测量值的控制器(5)，所述动栅单元(3)和高精度位移传感器(4)分别与所述控制器(5)电连接，所述动栅单元(3)与所述静栅单元(1)非接触的相向设置组成容栅位移传感器，所述高精度位移传感器(4)的工作窗口(41)非接触的朝向所述静栅单元(1)；所述读数头(2)沿所述静栅单元(1)表面移动，所述动栅单元(3)和高精度位移传感器(4)分别测量位移信息并发送到控制器(5)，由控制器(5)输出。
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