[实用新型]气嘴组件及晶圆盒承载装置

摘要

一种气嘴组件及包含所述气嘴组件的晶圆盒承载装置。气嘴组件包含固定件、连接件及弹性件。固定件具有相互连通的第一开口及第二开口，且其与固定件内部的容置槽相连通。连接件包含有止挡部及连接部，连接件的部份设置于容置槽中，止挡部用以限制连接件仅能相对固定件于轴向移动。连接部具有贯穿的连通孔。弹性件的部份设置于容置槽，弹性件的抵压部对应抵顶连接件的止挡部，弹性件包含有与连通孔相互连通的穿孔。当晶圆盒固定设置于晶圆盒承载平台时，外露于第一开口的连接部能被晶圆盒抵压，而使弹性件的对应产生弹性回复力，并使连接部紧密地与晶圆盒的气体输入结构相互连接。

主权项

1.一种气嘴组件，其特征在于，所述气嘴组件包含：一固定件，其包含有一固定部及一延伸部，所述延伸部由所述固定部的一侧延伸形成，所述延伸部于相反于所述固定部的一端形成有一第一开口，所述固定部于相反于所述延伸部的一侧形成有一第二开口，所述第一开口与所述第二开口彼此相互连通，所述固定件于形成所述第二开口的一端内凹形成有一容置槽；一连接件，其包含有一止挡部及一连接部，所述连接部由所述止挡部的一侧延伸形成，所述止挡部用以与形成所述第一开口的侧壁相互抵顶，以限制所述连接件相对于所述固定件于一轴向方向移动，所述连接部具有一连通孔，所述连通孔贯穿所述连接部及所述止挡部；其中，当所述连接件设置于所述固定件的所述容置槽中时，所述连接部对应外露于所述第一开口；其中，所述连接部用以与一晶圆盒的气体输入结构相互连接，而所述连通孔用以导引气体通过所述晶圆盒的气体输入结构，以进入所述晶圆盒的内部；以及一弹性件，其包含有一底部及一抵压部，所述抵压部由所述底部的一侧延伸形成，所述抵压部具有一穿孔，所述穿孔贯穿所述抵压部及所述底部；其中，所述弹性件与所述固定件相互固定，而所述抵压部对应位于所述容置槽中，且所述抵压部对应抵顶所述连接件的所述止挡部，而所述穿孔及所述连通孔相互连通；其中，所述固定件固定设置于一晶圆盒承载平台时，所述连接部对应外露于所述第一开口；当所述晶圆盒固定设置于所述晶圆盒承载平台时，所述连接部能被所述晶圆盒抵压，而使所述抵压部对应产生一弹性回复力，所述弹性回复力能作用于所述连接件，而使所述连接部紧密地与所述晶圆盒的气体输入结构相互连接。