[实用新型]一种化学品供应系统有效
| 申请号： | 201820259588.6 | 申请日： | 2018-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN208204548U | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 山世清 | 申请（专利权）人： | 上海晶福机电科技有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/14 | 分类号： | F17D1/14;F17D3/01;F17D3/18;F17D5/00 |
| 代理公司： | 上海海钧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31330 | 代理人： | 陈剑 |
| 地址： | 201114 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种化学品供应系统，包括一中空柜体，位于中空柜体内的化学品室和运输管路室，以及第一化学品供应线，第一化学品供应线包括位于运输管路室内的第一输送管道，第一输送管道上设有排气管，排气管的两端分别连通第一输送管道连通和废液回收系统，位于化学品室内的待供应化学品，经由第一输送管道传送至后续各装置。本实用新型提供的化学品供应系统，通过双化学品供应线提高系统的稳定性，并通过气体隔离大气，提高系统的洁净度。另外，通过化学品回流管路，保证供应管路的压力稳定。并通过排气管及时排出系统中的气泡，提高供应的化学品的合格率，也为下游光电化学品的高合格率提供保障。 | ||
| 搜索关键词： | 化学品 输送管道 化学品供应系统 化学品供应 排气管 本实用新型 运输管路 连通 合格率 废液回收系统 室内 供应管路 回流管路 排出系统 气体隔离 压力稳定 洁净度 中空柜 空柜 传送 体内 保证 | ||
【主权项】：
1.一种化学品供应系统，其特征在于，包括一中空柜体，位于所述中空柜体内的化学品室和运输管路室，控制系统，以及第一化学品供应线，所述第一化学品供应线包括位于所述运输管路室内的第一输送管道，所述第一输送管道，所述第一输送管道上设有排气管，所述排气管的两端分别连通第一输送管道连通和废液回收系统，位于所述化学品室内的待供应化学品，由经第一输送管道传送至后续各装置，所述控制系统控制所述排气管和/或第一输送管道的开启或关闭。
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