[实用新型]一种单晶制绒整线插分双片自动化上下料机有效
申请号: | 201820274157.7 | 申请日: | 2018-02-27 |
公开(公告)号: | CN207765472U | 公开(公告)日: | 2018-08-24 |
发明(设计)人: | 梁明刚 | 申请(专利权)人: | 广东启天自动化智能装备股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 泰州地益专利事务所 32108 | 代理人: | 谭建成 |
地址: | 523637 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供一种单晶制绒整线插分双片自动化上下料机,包括:叠片上料架上料皮带线,其上设有独立传送机构和挡篮结构;缓存盒,设有一个硅片缓存位;六轴机器人,其上安装有机械手抓手;双吸入盘横移结构,由三组横移机械手构成,每组所述横移机械手设有两个吸盘位;每组所述横移机械手分别与双吸入盘带升降结构连接;叠片上料架上料皮带线,设有三组相互独立的所述叠片上料架上料皮带线;叠片下料架回流结构,设有三组相互独立的所述叠片下料架回流结构。本实用新型的有益效果为将上料机、清洗、下料连接到一起的全自动生产线减少人员和空间浪费,设备稳定性好,自动化程度高;碎片率低,对硅片污染小,工作效率有效提高。 | ||
搜索关键词: | 叠片 机械手 上料皮带 上料架 横移 本实用新型 单晶制绒 回流结构 上下料机 自动化 吸入盘 下料架 双片 线插 缓存 吸盘 全自动生产线 六轴机器人 设备稳定性 传送机构 工作效率 硅片污染 横移结构 升降结构 有机械手 缓存盒 上料机 碎片率 硅片 下料 抓手 清洗 | ||
【主权项】:
1.一种单晶制绒整线插分双片自动化上下料机,其特征在于:包括叠片上料架上料皮带线,其上设有独立传送机构和挡篮结构;缓存盒,设有一个硅片缓存位;六轴机器人,其上安装有机械手抓手;双吸入盘横移结构,由三组横移机械手构成,每组所述横移机械手设有两个吸盘位;每组所述横移机械手分别与双吸入盘带升降结构连接;叠片上料架上料皮带线,设有三组相互独立的所述叠片上料架上料皮带线;叠片下料架回流结构,设有三组相互独立的所述叠片下料架回流结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的