[实用新型]一种硅片夹爪及硅片夹持机构

摘要

本实用新型公开了一种硅片夹爪及硅片夹持机构，属于硅片清洗技术领域。夹爪包括横梁、两个连接杆和承载横梁，横梁的两端分别与两个连接杆的上端连接，承载横梁的两端分别与两个连接杆的下端连接，承载横梁上设有一组以上硅片夹持槽，每组硅片夹持槽均包括多个硅片夹持槽，且同一组内相邻的两个硅片夹持槽之间的距离相等，硅片夹持槽为开设在横梁侧面的凹槽，且凹槽的槽底均处于同一上弦弧面上；硅片夹持机构包括两个驱动杆和两个上述硅片夹爪，两个硅片夹爪相对设置，两个驱动杆相平行，两个硅片夹爪的上端分别与两个驱动杆通过固定夹具连接。该硅片夹爪和硅片夹持机构对硅片的夹持稳定，改变了以往对硅片清洗的方法，提高了硅片的清洗质量。

主权项

1.一种硅片夹爪，其特征在于，该硅片夹爪包括横梁、两个连接杆（1）和承载横梁（2），所述横梁的两端分别与两个连接杆（1）的上端连接，所述承载横梁（2）的两端分别与两个连接杆（1）的下端连接，所述承载横梁（2）上设有一组以上硅片夹持槽（3），每组硅片夹持槽（3）均包括多个硅片夹持槽（3），且同一组内相邻的两个硅片夹持槽（3）之间的距离相等，所述硅片夹持槽（3）为开设在横梁侧面的凹槽，且凹槽的槽底均处于同一上弦弧面上。