[实用新型]一种软体离子反应复合膜机

摘要

本实用新型公开了一种软体离子反应复合膜机，包括机体，机体的内部通过差压板分隔为蒸发室和真空室两个腔室，差压板的中部设有开口，开口的内部设有电子束蒸发源，电子束蒸发源的顶端通过弧形电子通道置于真空室的内部设有电子枪，电子束蒸发源的表面缠绕有S型水冷管，蒸发室一侧的底部和真空室底端的中部均开设有真空通道。本实用新型通过设有的基板起到承载离子复合膜的作用，通过设有的温控开关起到感应蒸发室内部温度的作用，从而控制红外加热灯管工作，使得内部的温度升高，从而提高软体离子反应的效率，通过设有的电机驱动扇叶转动，从而使得蒸发室内部的温度均匀且鼓入基板上，降低了温度对离子反应造成的影响。

主权项

1.一种软体离子反应复合膜机，包括机体(1)，其特征在于，所述机体(1)的内部通过差压板(7)分隔为蒸发室(2)和真空室(3)两个腔室，所述差压板(7)的中部设有开口，所述开口的内部设有电子束蒸发源(10)，所述电子束蒸发源(10)的顶端通过弧形电子通道置于真空室(3)的内部设有电子枪(11)，所述电子束蒸发源(10)的表面缠绕有S型水冷管(12)，所述蒸发室(2)一侧的底部和真空室(3)底端的中部均开设有真空通道，两个所述真空通道的一端分别连接有第一真空机组(8)和第二真空机组(9)，所述蒸发室(2)的内部穿插连接有气体管道(5)，所述气体管道(5)的一端置于蒸发室(2)的内部套接有反应气体导入环(6)，所述气体管道(5)的顶部置于蒸发室(2)的内侧壁固定安装有探极(4)，所述蒸发室(2)的两个内侧壁均设有红外加热灯管(13)，所述蒸发室(2)其中一个内侧壁的顶部固定安装有温控开关(15)，所述机体(1)内部的顶端设有扇叶(14)，所述机体(1)的顶端固定安装有电机(16)，所述电机(16)的输出轴与转轴传动连接，所述转轴的一端穿过机体(1)与扇叶(14)中部设有的套环连接，所述扇叶(14)的底部置于蒸发室(2)的内部设有基板(18)，所述基板(18)的两端均通过连接杆与蒸发室(2)的两个内侧壁固定连接，所述红外加热灯管(13)和电机(16)均通过温控开关(15)与电源电性连接，所述探极(4)、第一真空机组(8)和第二真空机组(9)均通过开关与电源电性连接。