[实用新型]一种滚磨单晶硅棒的滚磨机有效

专利信息
申请号: 201820276813.7 申请日: 2018-02-27
公开(公告)号: CN207930412U 公开(公告)日: 2018-10-02
发明(设计)人: 王全文;杨蛟;李鹭 申请(专利权)人: 成都青洋电子材料有限公司
主分类号: B24B5/04 分类号: B24B5/04;B24B41/06;B24B47/12
代理公司: 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 代理人: 袁英
地址: 611200 四*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种滚磨单晶硅棒的滚磨机,它包括机身(1)、设置于机身(1)顶部的横向液压滑台(2)和纵向液压滑台(3),横向液压滑台(2)的顶表面上且位于其左右端部分别设置有动力机构和水平油缸(4),动力机构的输出端连接有转轴(5),水平油缸(4)的活塞杆(15)的端部旋转安装有轴套(6),轴套(6)的左端面上设置有锥形头(7),锥形头(7)上套有套筒(8),套筒(8)与转轴(5)同轴设置,纵向液压滑台(3)的顶部固定安装有电机A(9),电机A(9)的输出轴上安装有前后设置的砂轮。本实用新型的有益效果是:结构紧凑、滚磨精度高、快速实现单晶硅棒的工装、能够滚磨不同长度的单晶硅棒、提高滚磨效率。
搜索关键词: 滚磨 单晶硅棒 滑台 本实用新型 动力机构 横向液压 水平油缸 纵向液压 滚磨机 锥形头 机身 套筒 轴套 转轴 电机 砂轮 输出端连接 前后设置 同轴设置 旋转安装 左右端部 顶表面 活塞杆 输出轴 工装 上套 左端
【主权项】:
1.一种滚磨单晶硅棒的滚磨机,其特征在于:它包括机身(1)、设置于机身(1)顶部的横向液压滑台(2)和纵向液压滑台(3),所述横向液压滑台(2)的顶表面上且位于其左右端部分别设置有动力机构和水平油缸(4),动力机构的输出端连接有转轴(5),水平油缸(4)的活塞杆(15)的端部旋转安装有轴套(6),轴套(6)的左端面上设置有锥形头(7),锥形头(7)上套有套筒(8),套筒(8)与转轴(5)同轴设置,所述纵向液压滑台(3)的顶部固定安装有电机A(9),电机A(9)的输出轴上安装有前后设置的砂轮(10),该滚磨机还包括控制器,所述控制器与动力机构、水平油缸(4)、横向液压滑台(2)、纵向液压滑台(3)和电机A(9)连接。
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