[实用新型]一种基于LCOS技术的LED曝光机有效
| 申请号： | 201820286594.0 | 申请日： | 2018-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN207965472U | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 孙雷;张洪波;张婧姣 | 申请（专利权）人： | 联士光电（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于LCOS技术的LED曝光机，包括LED光源、透镜组、积分棒、透镜组、偏振分光元件PBS、LCOS、投影系统和待曝光工件。其中LED光源发出的光通过透镜组会聚进入积分棒，经积分棒匀光后再通过透镜组和偏振分光元件PBS成像到LCOS上，LCOS反射后再经偏振分光元件PBS反射进入投影系统，通过投影系统投射到待曝光工件，使待曝光工件形成曝光。此曝光机并不需要掩膜形成图案，可减少工艺流程及生产成本。由于LCOS具有高分辨率特点，因而可以实现高分辨率高精度的曝光，此曝光机对于推动我国电子产品行业的发展具有重要意义。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光机 透镜组 偏振分光元件 曝光工件 投影系统 积分棒 高分辨率 反射 本实用新型 重要意义 曝光 工艺流程 投射 掩膜 匀光 电子产品 成像 生产成本 会聚 图案 | ||
【主权项】：
1.一种基于LCOS技术的LED曝光机，其特征在于，包括LED光源（1）、第一透镜组（2）、积分棒（3）、第二透镜组（4）、偏振分光元件PBS（5）、LCOS（6）、投影系统（7）和待曝光工件（8），其中LED光源（1）发出的光通过第一透镜组（2）会聚进入积分棒（3），经积分棒（3）匀光后再通过第二透镜组（4）和偏振分光元件PBS（5）成像到LCOS（6）上，光源发出的光中p型偏振光通过偏振分光元件PBS（5）后入射到高分辨率的LCOS（6）上，LCOS（6）反射的光为s型偏振光，经偏振分光元件PBS（5）反射后进入投影系统（7），通过投影系统（7）投射到待曝光工件（8），使待曝光工件（8）形成曝光，为缩小曝光机整体体积，所述曝光机在光路上任意位置加入一个或多个反射镜或棱镜，对光路进行折叠。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于联士光电（深圳）有限公司，未经联士光电（深圳）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820286594.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种印制电路板制备用曝光机
- 下一篇：一种基于LCOS技术的曝光机
