[实用新型]一种可改变自转周期的蒸镀行星锅有效
| 申请号： | 201820292363.0 | 申请日： | 2018-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN207918944U | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 王玉泉 | 申请（专利权）人： | 丹东英普朗特科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 俞鲁江 |
| 地址： | 118009 辽宁省丹*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种可改变自转周期的蒸镀行星锅，包括电机、支架、支撑臂、行星锅及坩埚；电机带动支架旋转，支撑臂的一端与支架固定，支撑臂的另外一端与行星锅的转轴轴接；行星锅外缘设置齿，轨道上设置与所述齿啮合的齿型凹槽，行星锅在轨道上自转；电子束轰击坩埚内的源，源内物质均匀蒸发到即公转又自转的行星锅内，从而均匀蒸发到固定在行星锅内侧的硅晶圆上；行星锅上设置多个通孔，所述通孔内设置承片圈，硅晶圆设置在所述承片圈内；所述硅晶圆外侧设置锅盖。本实用新型的优点是：由于行星锅的齿圈可换，因此，可更改齿的结构及大小，将齿圈与轨道上的齿型凹槽进行更改从而可更改行星锅的自转速度。 | ||
| 搜索关键词： | 行星 硅晶圆 支撑臂 自转 本实用新型 齿型凹槽 自转周期 可改变 承片 齿圈 通孔 蒸镀 支架 坩埚 轨道 蒸发 电子束轰击 电机带动 外侧设置 支架固定 齿啮合 转轴轴 锅盖 电机 | ||
【主权项】：
1.一种可改变自转周期的蒸镀行星锅，其特征在于：包括电机、支架、支撑臂、行星锅及坩埚；电机带动支架旋转，支撑臂的一端与支架固定，支撑臂的另外一端与行星锅的转轴轴接；行星锅外缘设置齿，轨道上设置与所述齿啮合的齿型凹槽，行星锅在轨道上自转；电子束轰击坩埚内的源，源内物质均匀蒸发到即公转又自转的行星锅内，从而均匀蒸发到固定在行星锅内侧的硅晶圆上；行星锅上设置多个通孔，所述通孔内设置承片圈，硅晶圆设置在所述承片圈内；所述硅晶圆外侧设置锅盖。
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