[实用新型]一种旋干机的轴承结构有效

专利信息
申请号: 201820293083.1 申请日: 2018-03-02
公开(公告)号: CN208236911U 公开(公告)日: 2018-12-14
发明(设计)人: 刘天石 申请(专利权)人: 爱佩克斯(北京)科技有限公司
主分类号: F16C33/66 分类号: F16C33/66;F16C33/78
代理公司: 北京维正专利代理有限公司 11508 代理人: 罗焕清
地址: 100176 北京市大兴区北京经济*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型公开了一种旋干机的轴承结构,其技术方案要点是:包括轴承基座以及与轴承基座固定连接的轴承接合座,轴承基座和轴承接合座中心位置贯穿有用于电动机输出轴通过的第一旋转通口和第二旋转通口,轴承基座靠近轴承接合座的一侧于中心位置固定连接有凸型环,轴承接合座靠近轴承基座的一侧于中心位置开设有凹型环,使轴承基座和轴承接合座配合时形成一圈环状气室,轴承基座周面上设置有与环状气室连通的气嘴,凸型环靠近轴承基座轴线的周面设置有与环状气室连通的用于吸收杂质的遮蔽机构。本实用新型的优点是:在电动机高速旋转的过程中,在电动机输出轴周围阻挡微小杂质的进入减少室外污染物进入对晶圆造成污染。
搜索关键词: 轴承基座 接合座 轴承 电动机输出轴 本实用新型 环状气室 轴承结构 通口 凸型 连通 技术方案要点 微小杂质 遮蔽机构 电动机 圈环状 凹型 晶圆 气室 气嘴 周面 污染物 室外 阻挡 贯穿 污染 吸收 配合
【主权项】:
1.一种旋干机的轴承结构,包括轴承基座(1)以及与轴承基座(1)固定连接的轴承接合座(2),轴承基座(1)和轴承接合座(2)中心位置贯穿有用于电动机输出轴(3)通过的第一旋转通口(11)和第二旋转通口(21),其特征是:所述轴承基座(1)靠近轴承接合座(2)的一侧于中心位置固定连接有凸型环(12),轴承接合座(2)靠近轴承基座(1)的一侧于中心位置开设有凹型环(27),从而使轴承基座(1)和轴承接合座(2)配合时形成一圈环状气室(28),轴承基座(1)周面上设置有与环状气室(28)连通的用于抽气的气嘴(14),凸型环(12)靠近轴承基座(1)轴线的周面设置有与环状气室(28)连通的用于吸收杂质的遮蔽机构(16)。
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