[实用新型]一种用于导模法生长氧化镓单晶的导模板有效
申请号: | 201820300241.1 | 申请日: | 2018-03-05 |
公开(公告)号: | CN207919017U | 公开(公告)日: | 2018-09-28 |
发明(设计)人: | 张先海 | 申请(专利权)人: | 张先海 |
主分类号: | C30B15/34 | 分类号: | C30B15/34;C30B29/16 |
代理公司: | 北京永创新实专利事务所 11121 | 代理人: | 祗志洁 |
地址: | 100000 北京市海淀区清*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种用于导模法生长氧化镓单晶的导模板,属于氧化稼单晶生长技术领域。本实用新型的导模板包括第一侧板和第二侧板,每个侧板的上端面到该侧板内平面之间通过弧面光滑过渡连接;两个侧板的两个弧面镜面对称形成钝角开口的V型弧面槽。本实用新型还优选设置导模板的出料口到导模板上口的垂直距离与单个侧板的厚度之比在0.3~0.9范围内。本实用新型的设计改善了导模板局部温度,有利于熔体通过自身表面张力向上爬升并在模具口形成较为理想的固‑液界面;同时有利于晶体拉制,改善单晶的表面粗糙度,降低了后期加工难度,节约了成本。 | ||
搜索关键词: | 导模板 侧板 本实用新型 单晶 导模法 氧化镓 光滑过渡连接 表面粗糙度 垂直距离 单晶生长 弧面镜面 晶体拉制 爬升 出料口 弧面槽 模具口 上端面 氧化稼 生长 钝角 弧面 熔体 上口 优选 对称 开口 节约 加工 | ||
【主权项】:
1.一种用于导模法生长氧化镓单晶的导模板,包括第一侧板和第二侧板,两侧板镜面对称,并且通过螺栓固定为一体,两侧板中间的缝隙构成主供料缝;其特征在于,所述的第一侧板的上端面到第一侧板内平面之间通过弧面A光滑过渡连接;所述的第二侧板的上端面到第二侧板内平面之间通过弧面B光滑过渡连接;所述的弧面A和所述的弧面B镜面对称形成V型弧面槽;所述的V型弧面槽为钝角开口。
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