[实用新型]一种精密气体流量控制反馈真空装置有效
| 申请号： | 201820306100.0 | 申请日： | 2018-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN208125208U | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 周炎文 | 申请（专利权）人： | 武汉普迪真空科技有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/78 | 分类号： | G01F1/78;G01F1/86;G01F15/00 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种精密气体流量控制反馈真空装置，包括气体流量控制真空机本体，所述气体流量控制真空机本体的底部固定连接有底板，并且底板底部的两侧均固定连接有支柱，所述底板底部的两侧且位于支柱的一侧固定连接有支撑腿，所述支撑腿的底部活动连接有连接腿，本实用新型涉及真空装置技术领域。该精密气体流量控制反馈真空装置，通过气体流量控制真空机本体的底部固定连接有底板，可以通过万向轮进行移动，在移动的时候使用万向轮，不移动的时候就将万向轮收起来，使用十分的便利，通过第一U型板延伸至连接腿内部的一侧贯穿有卡块，万向轮利用十分简单的方式就可以进行固定，操作性强，提高了搬运的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 气体流量控制 底板 真空装置 万向轮 真空机 精密 本实用新型 连接腿 支撑腿 反馈 移动 底部活动 卡块 搬运 便利 贯穿 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种精密气体流量控制反馈真空装置，包括气体流量控制真空机本体(1)，其特征在于：所述气体流量控制真空机本体(1)的底部固定连接有底板(2)，并且底板(2)底部的两侧均固定连接有支柱(3)，所述底板(2)底部的两侧且位于支柱(3)的一侧固定连接有支撑腿(4)，所述支撑腿(4)的底部活动连接有连接腿(5)，并且支撑腿(4)表面的一侧贯穿有固定板(6)，所述固定板(6)的一侧贯穿连接腿(5)并延伸至连接腿(5)的外部，所述固定板(6)的两侧分别贯穿有第一U型板(7)和第二U型板(8)，并且第一U型板(7)和第二U型板(8)相对的一侧均贯穿连接腿(5)并延伸至连接腿(5)的内部，所述第一U型板(7)延伸至连接腿(5)内部的一侧贯穿有卡块(9)，并且卡块(9)延伸至第一U型板(7)内部的一侧固定连接有第一弹簧(10)，所述第二U型板(8)延伸至连接腿(5)内部的一侧开设有与卡块(9)相适配的卡槽(11)。
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