[实用新型]光阻容器及涂布机光阻供应系统有效
| 申请号： | 201820308806.0 | 申请日： | 2018-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN208098509U | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 汪杰;陈聪文;聂行健;赵敏 | 申请（专利权）人： | 东旭（昆山）显示材料有限公司;东旭集团有限公司;东旭科技集团有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/10 | 分类号： | B05C11/10;G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 王亚男;邝圆晖 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市昆山市开*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造领域，具体公开了一种光阻容器及涂布机光阻供应系统。所述光阻容器包括：漏斗式壳体(1)、动力装置、涂布管路、流量计(2)以及用于控制所述动力装置操作的控制单元，所述漏斗式壳体具有顶部开口和底部出液口，所述动力装置用于封闭所述顶部开口并对所述开口加压以推动光阻从出液口排出，所述涂布管路连接于所述出液口，所述流量计设置在所述涂布管路的靠近所述出液口的位置。本实用新型能够基本上无残留的将光阻推动送出，有效提高光阻的利用率，替代了传统气体加压方式，能够避免容器爆炸风险。此外，通过在涂布管路上设置有流量计，可根据流量数据反馈，使得动力装置实现自动调整以保持稳定的推动力。 | ||
| 搜索关键词： | 动力装置 流量计 光阻容器 出液口 光阻 光阻供应系统 本实用新型 顶部开口 漏斗式 涂布机 壳体 半导体制造领域 底部出液口 传统气体 管路连接 加压方式 流量数据 容器爆炸 无残留 排出 送出 推动力 加压 开口 反馈 封闭 替代 | ||
【主权项】：
1.一种光阻容器，其特征在于，该光阻容器包括：漏斗式壳体(1)，该漏斗式壳体(1)用于储存光阻，所述漏斗式壳体(1)具有设置在顶部的开口和设置在底部的出液口；动力装置，该动力装置用于封闭所述开口并对所述储存在所述漏斗式壳体(1)内的光阻加压以推动所述光阻从所述出液口排出；涂布管路，该涂布管路用于输送光阻并连接于所述出液口；流量计(2)，该流量计(2)用于监测光阻流量，所述流量计(2)设置在所述涂布管路的靠近所述出液口的位置；控制单元，该控制单元用于控制所述动力装置操作，所述控制单元与所述流量计(2)电连接。
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