[实用新型]一种提高利用率的旋转硅铝靶组件

摘要

本实用新型公开了一种提高利用率的旋转硅铝靶组件，涉及磁控溅射、金属变形加工和装配技术领域，旨在解决安装过程中旋转靶材端部易出现变形而安装不上的问题，其技术要点在于：包括管体、端头和靶材，所述靶材沿所述管体轴向方向包裹在管体外周，所述管体两端部分别伸出所述靶材的两端，所述端头内径固定套设于所述管体端部，所述管体端部套设具有弹性的环形衬套，所述环形衬套与所述管体一体设置，并且所述环形衬套和所述端头之间通过螺纹连接，所述环形衬套的外径大于所述端头的内径，本实用新型使得靶组件结合部的连接强度增大，进而保证了生产的稳定性和连续性，并提高了靶材的利用率，满足节能环保的生产要求。

主权项

1.一种提高利用率的旋转硅铝靶组件，包括管体（1）、端头（11）和靶材（12），所述靶材（12）沿所述管体（1）轴向方向包裹在管体（1）外周，所述管体（1）两端部分别伸出所述靶材（12）的两端，所述端头（11）内径固定套设于所述管体（1）端部，其特征在于：所述管体（1）端部套设具有弹性的环形衬套（2），所述环形衬套（2）与所述管体（1）一体设置，并且所述环形衬套（2）和所述端头（11）之间通过螺纹连接，所述环形衬套（2）的外径大于所述端头（11）的内径。