[实用新型]一种旋转靶材有效
| 申请号： | 201820309832.5 | 申请日： | 2018-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN208121190U | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 常代展;王雷 | 申请（专利权）人： | 南通安泰新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226341 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及磁控溅射靶材技术领域，具体到一种旋转靶材，旨在解决旋转靶材两端的背衬管易弯折的问题，其技术要点在于，一种旋转靶材，包括背衬管和套设于背衬管外的靶材体，所述背衬管和靶材体间通过焊料层相互接合，所述背衬管两端分别延伸于靶材体外侧，所述背衬管伸出靶材体的两端分别套设有套管，所述套管与背衬管螺纹连接，所述套管与靶材体抵接。套管增加了背衬管两端的整体厚度，有效提高背衬管的强度，防止背衬管弯折，并且，套管套设于背衬管外，防止背衬管两端在运输过程中受到撞击产生磨损。 | ||
| 搜索关键词： | 背衬管 套管 靶材 旋转靶材 磁控溅射靶材 本实用新型 技术要点 螺纹连接 运输过程 接合 焊料层 弯折的 抵接 磨损 弯折 伸出 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种旋转靶材，包括背衬管（1）和套设于背衬管（1）外的靶材体（3），所述背衬管（1）和靶材体（3）间通过焊料层（2）相互接合，其特征在于：所述背衬管（1）两端分别延伸于靶材体（3）外侧，所述背衬管（1）伸出靶材体（3）的两端分别套设有套管（4），所述套管（4）与背衬管（1）螺纹连接，所述套管（4）与靶材体（3）抵接。
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