[实用新型]一体式阴极盖板控制面板

摘要

本实用新型涉及阴极设备技术领域，具体是一体式阴极盖板控制面板包括：面板背板、监控器、冷却水快接头、工艺气体快接头、通讯接口、控制快插接口及高压快插接口，本实用新型实施例提供的一体式阴极盖板控制面板，将磁控溅射阴极盖板的各外部连接端有机集中到一块面板上，方便生产过程中的检查，并且最大限度的使复杂的阴极盖板简洁化；所有接口全部采用快插式接口，简化了在开腔检查过程中阴极盖板的装卸步骤，同时将通讯接口与控制接口分开处理最大限度保证系统通讯的稳定性，本实用新型能够将外部的连接端有效集中并进行分区的集成化控制面板，结构简单，设计合理。

主权项

1.一体式阴极盖板控制面板，包括：面板背板(1)、监控器(3)、冷却水快接头(2)、工艺气体快接头(4)、通讯接口(7)、控制快插接口(6)及高压快插接口(5)，其特征在于：冷却水快接头(2)设置在面板背板(1)最左侧，工艺气体快接头(4)设置在面板背板(1)的最右侧，监控器(3)设置在面板背板(1)上端的中间位置，监控器(3)底端从左至右依次为通讯接口(7)、控制快插接及高压快插接口(5)，监控器(3)、通讯接口(7)、控制快插接及高压快插接口(5)之间有间隙。