[实用新型]一种用点纯化器独立安装装置

摘要

本实用新型公开了一种用点纯化器独立安装装置，包括主管路进气隔离阀、普通氮气进口隔离阀和高纯氮气进口隔离阀，所述主管路进气隔离阀右端通过管道无缝连接有机械气压表，所述机械气压表右端通过管道无缝连接有数字压力传感器，所述数字压力传感器右端通过管道无缝连接有第一隔离阀，所述第一隔离阀右端通过管道无缝连接有纯化前隔离阀，所述纯化前隔离阀右端通过管道无缝连接有纯化装置，所述纯化装置右端通过管道无缝连接有第二隔离阀，所述第二隔离阀右端通过管道无缝连接有气压表，所述气压表右端通过管道无缝连接有第三隔离阀，该装置结构紧凑、占地面积小、使用方便、安全性高，适合进行普遍推广。

主权项

1.一种用点纯化器独立安装装置，包括主管路进气隔离阀(1)、普通氮气进口隔离阀(2)和高纯氮气进口隔离阀(3)，其特征在于：所述主管路进气隔离阀(1)左端通过管道无缝连接有气体自气源供气装置(4)，所述主管路进气隔离阀(1)右端通过管道无缝连接有机械气压表(11)，所述机械气压表(11)右端通过管道无缝连接有数字压力传感器(12)，所述数字压力传感器(12)右端通过管道无缝连接有第一隔离阀(13)，所述第一隔离阀(13)右端通过管道无缝连接有纯化前隔离阀(14)，所述纯化前隔离阀(14)右端通过管道无缝连接有纯化装置(15)，所述纯化装置(15)右端通过管道无缝连接有第二隔离阀(16)，所述第二隔离阀(16)右端通过管道无缝连接有气压表(17)，所述气压表(17)右端通过管道无缝连接有第三隔离阀(18)，所述气压表(17)和第三隔离阀(18)之间通过管道无缝连接有抽真空隔离阀(23)，所述抽真空隔离阀(23)上端通过管道无缝连接有文丘里真空发生装置(22)，所述文丘里真空发生装置(22)左端通过管道无缝连接有第一单向止回阀(21)，所述第一单向止回阀(21)左端通过管道无缝连接有普通氮气进口隔离阀(2)，所述高纯氮气进口隔离阀(3)右端通过管道无缝连接有第二单向止回阀(31)，所述第二单向止回阀(31)右端通过管道无缝连接有吹扫气压表(32)，所述吹扫气压表(32)右端通过管道无缝连接有置换吹扫隔离阀(33)，所述置换吹扫隔离阀(33)右端通过管道无缝连接有第二抽真空隔离阀(34)。