[实用新型]一种刻蚀框具有效
申请号: | 201820319425.2 | 申请日: | 2018-03-08 |
公开(公告)号: | CN207993819U | 公开(公告)日: | 2018-10-19 |
发明(设计)人: | 郑资来;毛先国 | 申请(专利权)人: | 惠州市清洋实业有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/687 |
代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 王华强 |
地址: | 516032 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种刻蚀框具,包括横板,所述横板的底部固定连接有支撑板,所述横板的顶部开设有放置槽,所述横板顶部的右侧通过转轴活动连接有旋转板,旋转板顶部左侧的前端和后端均固定连接有推块,横板左侧的底部开设有与放置槽连通的开口,开口内腔的两侧均固定连接有轴承座。本实用新型通过旋转板、推块、轴承座、螺纹管、齿轮、齿板、连接块、推动板、螺纹杆、壳体、弹簧和压板的配合使用,解决了现有的刻蚀框具在使用时,不能够对半导体进行夹紧,导致半导体在制作时,会出现偏移现象的问题,该刻蚀框具,具备固定效果好的优点,提高了半导体的生产质量,大大减小了企业的经济损失,提高了刻蚀框具的实用性。 | ||
搜索关键词: | 横板 刻蚀 框具 本实用新型 放置槽 旋转板 轴承座 推块 半导体 转轴活动连接 旋转板顶部 导体 固定效果 经济损失 开口内腔 偏移现象 螺纹杆 螺纹管 推动板 支撑板 齿轮 弹簧 齿板 夹紧 减小 壳体 压板 连通 开口 制作 生产 | ||
【主权项】:
1.一种刻蚀框具,包括横板(1),其特征在于:所述横板(1)的底部固定连接有支撑板(2),所述横板(1)的顶部开设有放置槽(3),所述横板(1)顶部的右侧通过转轴活动连接有旋转板(4),所述旋转板(4)顶部左侧的前端和后端均固定连接有推块(5),所述横板(1)左侧的底部开设有与放置槽(3)连通的开口(6),所述开口(6)内腔的两侧均固定连接有轴承座(7),所述轴承座(7)的内壁固定连接有螺纹管(8),所述螺纹管(8)表面的中心固定连接有齿轮(9),所述齿轮(9)的顶部啮合有齿板(10),所述齿板(10)的顶部固定连接有连接块(11),所述连接块(11)的顶部贯穿至横板(1)的顶部并固定连接有推动板(12),所述推动板(12)的底部与横板(1)滑动连接,所述螺纹管(8)的内腔螺纹连接有螺纹杆(13),所述螺纹杆(13)的右端延伸至放置槽(3)的内腔并固定连接有壳体(14),所述壳体(14)的底部与支撑板(2)滑动连接,所述壳体(14)内腔的底部固定连接有弹簧(15),所述弹簧(15)的顶端延伸至壳体(14)的顶部并固定连接有压板(16),所述压板(16)的底部与壳体(14)接触。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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