[实用新型]一种用于研磨抛光机的修整环有效
| 申请号： | 201820338310.8 | 申请日： | 2018-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN208084105U | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 王永成 | 申请（专利权）人： | 上海致领半导体科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27;B24B37/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201319 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于研磨抛光机的修整环，修整环的内壁具有至少一个垂直凹槽，与修整环对应使用的工装具有一个凹口，垂直凹槽与凹口的位置相对，一个L形挡片被置于垂直凹槽与凹口形成的空间内，挡片的垂直部被置于所述垂直凹槽内，挡片的底部被置于凹口内。通过在修整环的内壁设计一个垂直凹槽，与所述修整环对应使用的工装设计一个凹口，利用挡片固定修整环和工装的相对位置，解决了研磨过程中修整环与工装发生相对位移的棘手问题。 | ||
| 搜索关键词： | 修整环 垂直凹槽 凹口 工装 挡片 研磨抛光机 工装设计 棘手问题 内壁设计 位置相对 相对位移 研磨 内壁 垂直 | ||
【主权项】：
1.一种用于研磨抛光机的修整环，其特征在于，所述修整环的内壁具有至少一个垂直凹槽，与所述修整环对应使用的工装具有一个凹口，所述垂直凹槽与凹口的位置相对，一个L形挡片被置于垂直凹槽与凹口形成的空间内，所述挡片的垂直部被置于所述垂直凹槽内，所述挡片的底部被置于所述凹口内。
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