[实用新型]一种用于研磨抛光设备的修整环有效
申请号: | 201820338612.5 | 申请日: | 2018-03-13 |
公开(公告)号: | CN208084106U | 公开(公告)日: | 2018-11-13 |
发明(设计)人: | 王永成 | 申请(专利权)人: | 上海致领半导体科技发展有限公司 |
主分类号: | B24B37/34 | 分类号: | B24B37/34;B24B57/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201319 上海市浦东新区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种用于研磨抛光设备的修整环,该修整环包括环体和研磨体,研磨体由多个圆柱体组成,圆柱体的端面与环体的端面紧固连接,圆柱体均匀对称分布在所述环体的端面上,圆柱体采用陶瓷材料制成,环体是金属材料制成。通过为研磨抛光机提供的圆柱形陶瓷修整环,利用圆柱体与圆柱体之间的较大的圆滑空间,更加利于研磨液的研磨盘上的流动,使得研磨液在研磨盘上分布更加均匀,提高了工件平整度的研磨效果。 | ||
搜索关键词: | 修整环 环体 研磨抛光设备 研磨盘 研磨体 研磨液 均匀对称分布 研磨抛光机 圆柱形陶瓷 金属材料 圆滑 紧固连接 陶瓷材料 研磨 平整度 流动 | ||
【主权项】:
1.一种用于研磨抛光设备的修整环,其特征在于,该修整环包括环体和研磨体,研磨体由多个圆柱体组成,所述的圆柱体的端面与环体的端面紧固连接。
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