[实用新型]一种碟式芯片点样仪的多通道气压控制系统

摘要

本实用新型提供一种碟式芯片点样仪的多通道气压控制系统，包括储能器、压力调节组件和点样控制组件，压力调节组件串联在点样控制组件与储能器之间，压力调节组件包括减压阀、将真空发生器和第一气压电磁阀串联的第一支路、与第一支路并联的第二支路以及串联在第二支路上的第二气压电磁阀，所述减压阀的入口与储能器连接，其出口与第一支路和第二支路的一端连接，第一支路和第二支路的另一端与点样控制组件的第三支路连接，第一支路和第二支路之间并联有多个气压电磁阀，点样控制组件还包括与第三支路连接的多个相互并联的点样针支路，本实用新型的有益效果在于：气体压力稳定，气压值精度高，能够保证试剂喷涂位置精准，试剂量均匀，并且漏点率低于1%。

主权项

1.一种碟式芯片点样仪的多通道气压控制系统，包括储能器（1）、压力调节组件（2）和点样控制组件（3），所述压力调节组件（2）串联在点样控制组件（3）与储能器（1）之间，其特征在于：所述的压力调节组件（2）包括减压阀（21）、将真空发生器（22）和第一气压电磁阀（23）串联的第一支路（24）、与第一支路（24）并联的第二支路（25）以及串联在第二支路（25）上的第二气压电磁阀（26），所述减压阀（21）的入口与储能器（1）连接，其出口与第一支路（24）和第二支路（25）的一端连接，所述第一支路（24）和第二支路（25）的另一端与点样控制组件（3）的第三支路（31）连接，所述第一支路（24）和第二支路（25）之间并联有多个气压电磁阀，所述点样控制组件（3）还包括与第三支路（31）连接的多个相互并联的点样针支路（32）。