[实用新型]一种物理化学气相沉积装置

摘要

本实用新型公开了一种物理化学气相沉积装置，包括第一箱体的内腔设置有沉积箱，所述第一箱体的顶部设置有第二箱体，所述第二箱体的内腔设置有拉杆，所述拉杆的底部设置有挡板，所述拉杆的表面套设有弹簧，所述弹簧的底部与挡板的顶部固定连接，所述挡板的底部设置有棱柱，所述棱柱的底部依次贯穿第二箱体和第一箱体并延伸至第一箱体的内部，所述沉积箱的顶部开设有棱形限位槽，所述棱柱的底部与棱形限位槽的内部活动连接。本实用新型通过第一箱体、沉积箱、第二箱体、拉杆、挡板、弹簧、棱柱和棱形限位槽的设置，使气相沉积装置具有易拆卸的优点，降低了工作人员的劳动强度，同时解决了传统的气相沉积装置难以拆卸的问题。

主权项

1.一种物理化学气相沉积装置，包括第一箱体(1)，其特征在于：所述第一箱体(1)内腔的两侧均固定连接有第一固定块(2)，所述第一固定块(2)的表面开设有第一卡槽(3)，所述第一卡槽(3)的内部活动连接有第一卡块(4)，所述第一卡块(4)的内侧固定连接有沉积箱(5)，所述第一箱体(1)内腔的底部固定连接有第二固定块(6)，所述第二固定块(6)的表面开设有第二卡槽(7)，所述第二卡槽(7)的内部活动连接有第二卡块(8)，所述第二卡块(8)的顶部与沉积箱(5)的底部固定连接，所述第一箱体(1)的顶部固定连接有第二箱体(9)，所述第二箱体(9)的内腔设置有拉杆(10)，所述拉杆(10)的顶部贯穿第二箱体(9)并延伸至第二箱体(9)的外部，所述拉杆(10)的底部固定连接有挡板(11)，所述拉杆(10)的表面套设有弹簧(12)，所述弹簧(12)的底部与挡板(11)的顶部固定连接，所述挡板(11)的底部固定连接有棱柱(13)，所述棱柱(13)的底部依次贯穿第二箱体(9)和第一箱体(1)并延伸至第一箱体(1)的内部，所述沉积箱(5)的顶部开设有棱形限位槽(14)，所述棱柱(13)的底部与棱形限位槽(14)的内部活动连接。