[实用新型]一种氢气传感器有效
| 申请号： | 201820362355.9 | 申请日： | 2018-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN208103923U | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 沈方平 | 申请（专利权）人： | 苏州钽氪电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;G01N27/14 |
| 代理公司： | 南京常青藤知识产权代理有限公司 32286 | 代理人： | 史慧敏 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种氢气传感器，属于氢气传感器领域。通过MEMS加工工艺获得的氢气传感器，包括硅基底，所述硅基底上表面设有绝热层，所述硅基底下表面开有一对延伸至所述绝热层的绝热槽，所述绝热层表面设有位于绝热槽的正上方的第一贵金属催化层和第二贵金属催化层，所述第一贵金属催化层的表面覆盖有一层隔绝空气层，所述第二贵金属催化层开有气孔，所述第一贵金属催化层和所述第二贵金属催化层与一对低温度系数参比电阻串联并组成惠斯通电桥。所述硅基底上方设置有温度温敏电阻。本实用新型提供的氢气传感器可以同时在催化燃烧和热导两种模式下工作，体积小，功耗低，响应快，使用寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 贵金属催化 氢气传感器 绝热层 硅基 本实用新型 绝热槽 硅基底上表面 低温度系数 惠斯通电桥 表面覆盖 参比电阻 催化燃烧 隔绝空气 使用寿命 温敏电阻 体积小 功耗 热导 串联 响应 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种氢气传感器，其特征在于，包括硅基底，所述硅基底上表面设有绝热层，所述硅基底下表面开有2个延伸至所述绝热层的绝热槽，所述绝热层表面设有成分相同且起到催化作用的第一贵金属催化层和第二贵金属催化层，所述第一贵金属催化层和所述第二贵金属催化层分别位于两个所述绝热槽的正上方，所述第一贵金属催化层表面覆盖有一层隔绝空气层，所述第二贵金属催化层开有气孔，所述绝热层的边缘设有若干引线窗口，所述隔绝空气层的表面设有两个低温度系数参比电阻，所述第一贵金属催化层和所述第二贵金属催化层通过所述引线窗口与两个所述低温度系数参比电阻串联，所述隔绝空气层的表面还设置有用于测定环境温度的温度敏感电阻。
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