[实用新型]直流放电离子源有效
| 申请号： | 201820389039.0 | 申请日： | 2018-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN207966915U | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 郭方准;于荣环;石晓倩;董华军;臧侃 | 申请（专利权）人： | 大连交通大学 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02;H01J27/26 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 李馨 |
| 地址： | 116028 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种直流放电离子源，包括：固定法兰、穿过所述固定法兰的进气管、冷却水管和设置在所述进气管、冷却水管端部的放电腔，所述放电腔包括带狭缝阳极筒、设于所述带狭缝阳极筒两端的阴极和与冷却水管连接的冷却壁，所述冷却壁上嵌有阴极接线装置，所述带狭缝阳极筒两侧分别嵌于上部冷却壁内和下部冷却壁内，气体通过所述进气管导入并被封闭于所述放电腔内。电子从阴极发射后，在阴阳极间隙上受到电场的加速作用获得一定的初速度，本实用新型使得电子在碰壁消亡之前的运动路程大大增加，提高每个电子与空间中性粒子碰撞的几率，提高了放电腔内等离子体的浓度，让这种放电结构在很低的气压下也能正常放电。 | ||
| 搜索关键词： | 放电腔 冷却壁 进气管 阳极筒 狭缝 阴极 本实用新型 固定法兰 冷却水管 直流放电 离子源 等离子体 冷却水管端部 电场 放电结构 加速作用 接线装置 气体通过 阴极发射 运动路程 中性粒子 放电 气压 嵌有 穿过 封闭 | ||
【主权项】：
1.一种直流放电离子源，包括：固定法兰、穿过所述固定法兰的进气管、冷却水管，其特征在于，还包括：设置于所述进气管、冷却水管端部的放电腔，所述放电腔包括带狭缝阳极筒、设于所述带狭缝阳极筒两端的阴极和与冷却水管连接的冷却壁，所述冷却壁上嵌有阴极接线装置，所述带狭缝阳极筒两侧分别嵌于上部冷却壁内和下部冷却壁内，气体通过所述进气管导入并被封闭于所述放电腔内。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大连交通大学，未经大连交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820389039.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种保险的冷却装置
- 下一篇：一种用于传感器单晶硅刻蚀中的片架定位装置
