[实用新型]一种用于芯片工厂的节能型冷却系统

摘要

一种用于芯片工厂的节能型冷却系统，属于工业节能领域，包括MOCVD设备1a、1b、1c、空调箱2a、2b、冷机3、冷却水换热机组4、蒸汽加换热器5、循环冷却水泵6、冷冻水泵7、热水循环泵8、余热水泵9、工业热泵机组10、电动阀门11、12a、12b、13a、13b、14a、14b，并如图1所示依次相连接，组成一个节能型冷却系统；该系统通过工业热泵机组10来给MOCVD设备1a、1b、1c的循环冷却水进行降温，同时来给空调箱2a、2b的加热段提供热水；本实用新型可以替代原来冷却和加热工艺中的冷机3和蒸汽加热器5，既节省了冷机3的运行电费又节省了蒸汽加热器5的蒸汽，大大降低了生产成本。

主权项

1.一种用于芯片工厂的节能型冷却系统，包括MOCVD设备1a、1b、1c、空调箱2a、2b、冷机3、冷却水换热机组4、蒸汽加换热器5、循环冷却水泵6、冷冻水泵7、热水循环泵8、余热水泵9、工业热泵机组10、电动阀门11、12a、12b、13a、13b、14a、14b等以及对应的管路，并依次相连接，组成一个节能冷却系统；其特征在于通过设计增加余热水泵9、工业热泵机组10、电动阀门11、12a、12b、13a、13b、14a、14b以及对应的管道等，使工业热泵机组10的蒸发器与MOCVD设备1a、1b、1c循环冷却水的出口总管道相连；同时使工业热泵机组10的冷凝器与空调箱2a、2b加热段的循环热水管道相连，这样设计的目的是为了把MOCVD设备原来需要通过冷机进行冷却的热量现在可以通过工业热泵机组进行余热回收，然后再通过工业热泵机组的加工升温后为空调箱加热段提供热水，替代原来冷却和加热工艺中的冷机3和蒸汽加热器5，既节省了冷机3的运行电费又节省了蒸汽加热器5的蒸汽，大大降低了生产成本。