[实用新型]一种单晶炉导流筒有效

专利信息
申请号: 201820405578.9 申请日: 2018-03-26
公开(公告)号: CN208121246U 公开(公告)日: 2018-11-20
发明(设计)人: 罗乾;陈健;陈立民;韩永龙;文淑梅 申请(专利权)人: 阳光能源(青海)有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B15/00
代理公司: 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 代理人: 李静
地址: 810000 青海*** 国省代码: 青海;63
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摘要: 实用新型提供一种单晶炉导流筒,包括外层导流筒、内层导流筒和气缸,所述气缸安装在外层导流筒的外侧,所述外层导流筒和内层导流筒之间形成腔体放置保温材料,所述腔体内设置有衬板,所述内层导流筒的内侧活动安装有导流板,所述导流板与衬板之间通过连杆连接,所述衬板与气缸之间通过传动杆连接。本实用新型单晶炉导流筒通过设置导热系数不一样的导流板和内层导流筒,有效地增大单晶炉导流筒内部的纵向温度梯度,提高单晶的增长速度;同时,通过连杆驱动导流板运动来调整单晶炉内部氩气流,使其始终保持稳定,确保单晶硅棒的生产质量。
搜索关键词: 导流筒 单晶炉 导流板 内层 衬板 气缸 本实用新型 纵向温度梯度 保温材料 单晶硅棒 导热系数 活动安装 连杆连接 连杆驱动 传动杆 有效地 氩气流 单晶 腔体 体内 生产
【主权项】:
1.一种单晶炉导流筒,其特征在于:包括外层导流筒、内层导流筒和气缸,所述气缸安装在外层导流筒的外侧,所述外层导流筒和内层导流筒之间形成腔体放置保温材料,所述腔体内设置有衬板,所述内层导流筒的内侧活动安装有导流板,所述导流板与衬板之间通过连杆连接,所述衬板与气缸之间通过传动杆连接。
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