[实用新型]无需移动装填蒸镀料的坩埚有效
申请号: | 201820410585.8 | 申请日: | 2018-03-26 |
公开(公告)号: | CN208136316U | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
发明(设计)人: | 瞿建强;瞿一涛;黄仕强;陆彬锋 | 申请(专利权)人: | 江阴市光科真空机械有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人: | 王威钦 |
地址: | 214400 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了无需移动装填蒸镀料的坩埚,包括坩埚本体以及固定设置在坩埚本体底壁上的用于蒸镀料装填的各向装填机构,各向装填机构其装填面呈与水平面倾斜设置,倾角范围为15°~45°。本实用新型在盖板上设置一个尺寸较小的装填孔,再配合各向装填机构装填时可以实现无需移动装填蒸镀料就能将蒸镀料均匀地装填在坩埚本体底壁,并且能够根据不同蒸镀料其粗细及摩擦系数的情况合理选择装填槽及出料槽的倾斜方向以既满足装填的蒸镀料能自动下料、又满足蒸镀料在自动下料时不会过快而导致蒸镀料的泄漏、飘散和损失。 | ||
搜索关键词: | 蒸镀 装填 装填机构 坩埚本体 本实用新型 自动下料 底壁 坩埚 移动 固定设置 摩擦系数 倾斜方向 倾斜设置 盖板 出料槽 装填槽 装填孔 泄漏 配合 | ||
【主权项】:
1.无需移动装填蒸镀料的坩埚,其特征在于,包括坩埚本体以及固定设置在坩埚本体底壁上的用于蒸镀料装填的各向装填机构,各向装填机构其装填面呈与水平面倾斜设置,倾角范围为15°~45°。
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