[实用新型]双列错层取放料设备及半导体加工生产线

摘要

本实用新型属于半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种双列错层取放料设备及半导体加工生产线，双列错层取放料设备包括机架、取放装置、上料装置和呈双列设置的两下料装置，机架包括水平工作台和垂直工作台，取放装置包括垂直多轴移动机构和取料机头，垂直多轴移动机构固定安装于垂直工作台，取料机头固定安装于垂直多轴移动机构，两下料装置均包括边侧Y轴线性模组和下料台，两边侧Y轴线性模组固定安装于水平工作台的两侧，两下料台固定安装于两边侧Y轴线性模组，上料装置包括水平多轴移动机构和上料台，水平多轴移动机构固定安装于水平工作台，上料台固定安装于水平多轴移动机构。如此，两下料台的设置便实现了循环上下料，提升了工作效率。

主权项

1.一种双列错层取放料设备，其特征在于：包括机架、取放装置、上料装置和呈双列设置的两下料装置，所述机架包括水平工作台和垂直工作台，所述垂直工作台固定安装于所述水平工作台上，所述取放装置包括垂直多轴移动机构和取料机头，所述垂直多轴移动机构固定安装于所述垂直工作台上，所述取料机头固定安装于所述垂直多轴移动机构的驱动端上，两所述下料装置均包括边侧Y轴线性模组和下料台，两所述边侧Y轴线性模组分别固定安装于所述水平工作台的相对两侧，两所述下料台分别固定安装于两所述边侧Y轴线性模组上并间隙设置，所述上料装置包括水平多轴移动机构和上料台，所述水平多轴移动机构固定安装于所述水平工作台上并位于两所述边侧Y轴线性模组之间，所述上料台固定安装于所述水平多轴移动机构的驱动端上且与两所述下料台错层设置。