[实用新型]一种冷却管外置式光学镀膜腔体有效
| 申请号： | 201820417393.X | 申请日： | 2018-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN208136319U | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 瞿建强;瞿一涛;黄仕强;陆彬锋 | 申请（专利权）人： | 江阴市光科真空机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人： | 王威钦 |
| 地址： | 214400 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种冷却管外置式光学镀膜腔体，包括腔体顶板、腔体底板与腔体侧板，腔体顶板和腔体底板水平设置且相对设置，腔体侧板位于腔体顶板与腔体底板之间，腔体侧板垂直设置且呈半圆管状，腔体侧板的一个侧边铰接腔室门；腔体顶板、腔体底板与腔体侧板的外表面固定设置冷却水管，冷却水管上设置增大水管比表面积的分支结构。本实用新型通过分支结构的设计使得光学镀膜的真空腔体其冷却效果更好，延长了真空腔体的使用寿命，分支结构的设计几乎不占用腔体外表面的空间，并未增加整体的体积却大大加强了腔体的冷却管的冷却能力。 | ||
| 搜索关键词： | 腔体侧板 腔体底板 腔体顶板 腔体 分支结构 光学镀膜 冷却管 本实用新型 冷却水管 真空腔体 外置式 半圆管状 垂直设置 固定设置 铰接腔室 冷却能力 冷却效果 使用寿命 水平设置 相对设置 侧边 水管 占用 | ||
【主权项】：
1.一种冷却管外置式光学镀膜腔体，其特征在于，包括腔体顶板、腔体底板与腔体侧板，腔体顶板和腔体底板水平设置且相对设置，腔体侧板位于腔体顶板与腔体底板之间，腔体侧板垂直设置且呈半圆管状，腔体侧板的一个侧边铰接腔室门；腔体顶板、腔体底板与腔体侧板的外表面固定设置冷却水管，冷却水管上设置增大水管比表面积的分支结构。
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