[实用新型]一种调整滤波器频率的装置以及滤波器芯片有效
申请号: | 201820421052.X | 申请日: | 2018-03-27 |
公开(公告)号: | CN209419586U | 公开(公告)日: | 2019-09-20 |
发明(设计)人: | 谢祥政;杨浚哲;尚荣耀;朱庆芳;蔡文必 | 申请(专利权)人: | 厦门市三安集成电路有限公司 |
主分类号: | H03H3/04 | 分类号: | H03H3/04 |
代理公司: | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人: | 张松亭;张迪 |
地址: | 361000 福建省厦门*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种调整滤波器频率的装置,测试平台上放置有滤波器芯片,滤波器芯片上排列设置有多个滤波器单元体;激光发射器的输出端朝向滤波器芯片,通过XY平面位移调整机构调整激光发射器与滤波器芯片的相对位置,使得激光发射器的输出端对准其中一颗滤波器单元体,根据该单元体表面介电层的材料,设置激光发射器发出的激光波长、输出功率、光斑直径和照射时间;使得激光发射器发出的激光照射在该滤波器单元体的介电层,并蒸发一定重量的介电材料。本实用新型还提供了一种滤波器芯片,采用如上所述装置制备而成。 | ||
搜索关键词: | 滤波器芯片 激光发射器 滤波器单元 本实用新型 调整滤波器 介电层 输出端 位移调整机构 单元体表面 测试平台 激光波长 激光照射 介电材料 排列设置 输出功率 装置制备 光斑 对准 照射 蒸发 | ||
【主权项】:
1.一种调整滤波器频率的装置,其特征在于包括:激光发射器、测试平台、XY平面位移调整机构;所述测试平台上放置有滤波器芯片,所述滤波器芯片上排列设置有多个滤波器单元体;激光发射器的输出端朝向所述滤波器芯片,通过所述XY平面位移调整机构调整激光发射器与滤波器芯片的相对位置,使得激光发射器的输出端对准其中一颗滤波器单元体,根据该单元体表面介电层的材料,设置激光发射器发出的激光波长、输出功率、光斑直径和照射时间;使得激光发射器发出的激光照射在该滤波器单元体的介电层,并蒸发一定重量的介电材料。
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