[实用新型]基于接触点分布的大功率射频MEMS开关装置有效
| 申请号： | 201820428530.X | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN207993780U | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 刘泽文;张玉龙;龚著浩 | 申请（专利权）人： | 苏州希美微纳系统有限公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 苏州唯亚智冠知识产权代理有限公司 32289 | 代理人： | 陈晓瑜 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基于接触点分布的大功率射频MEMS开关装置，包括有衬底，其中：衬底上铺设有微波传输信号线，微波传输信号线两侧分布有地线，微波传输信号线的一端连接有悬臂梁，悬臂梁的前侧、左侧、右侧及其下方设置有触点分布区域，触点分布区域内设置有若干接触点，接触点分布区域与微波传输信号线互联，悬臂梁下方设置有驱动电极。由此，避免了由趋肤效应所带来的信号功率集中于某几个触点的现象，进而减小了由于部分接触点失效而导致整体开关失效的可能，改善了器件的可靠性。各个接触点所承受的功率较为平均，增加了器件的功率容量。在未增加器件尺寸的情况下实现了器件功率容量的提高，拥有较佳的兼容效果。 | ||
| 搜索关键词： | 接触点 微波传输 信号线 分布区域 悬臂梁 触点 大功率射频 衬底 本实用新型 功率容量 兼容效果 两侧分布 器件功率 趋肤效应 驱动电极 信号功率 一端连接 整体开关 地线 减小 上铺 互联 | ||
【主权项】：
1.基于接触点分布的大功率射频MEMS开关装置，包括有衬底(6)，其特征在于：所述衬底(6)上铺设有微波传输信号线(3)，所述微波传输信号线(3)两侧分布有地线(4)，所述微波传输信号线(3)的一端连接有悬臂梁(2)，所述悬臂梁(2)的前侧、左侧、右侧及其下方设置有触点分布区域(1)，所述触点分布区域(1)内设置有若干接触点，所述接触点分布区域(1)与微波传输信号线(3)互联，所述悬臂梁(2)下方设置有驱动电极(5)。
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