[实用新型]一种应用于曝光机移载机构上的真空吸板盒装置

摘要

本实用新型公开了一种应用于曝光机移载机构上的真空吸板盒装置，包括有水平移载输送支撑架，水平移载输送支撑架上端装设有第一吸盘及第二吸盘，第一吸盘设置有吸板盒，吸板盒侧面连接有安装座，安装座上端装设有伸缩马达，伸缩马达连接有滑轨内的齿条，吸板盒侧面装设有吸盘伸缩导杆，且通过输送皮带与安装座连接，安装座穿设在吸盘伸缩导杆上，伸缩马达通过安装座连接吸板盒，安装座通过设置于水平移载机构输送支撑架侧端的水平移载输送带与输送马达连接；本实用新型具有设计新颖、结构简单，安装便利，不需要人工调节，减少对人力的依赖，同时在节省气源的前提下预防吸板不稳定的现象，且无吸板印迹，也方便日常清洁的优点。

主权项

1.一种应用于曝光机移载机构上的真空吸板盒装置，其特征在于：包括有水平移载输送支撑架（1），水平移载输送支撑架（1）上端装设有第一吸盘（2）及第二吸盘（3），第一吸盘（2）设置有吸板盒（21），吸板盒（21）侧面连接有安装座（22），安装座（22）上端装设有伸缩马达（23），伸缩马达（23）连接有滑轨（24）内的齿条（25），吸板盒（21）侧面装设有吸盘伸缩导杆（26），且通过输送皮带（27）与安装座（22）连接，安装座（22）穿设在吸盘伸缩导杆（26）上，伸缩马达（23）通过安装座（22）连接吸板盒（21），安装座（22）通过设置于水平移载机构输送支撑架（1）侧端的水平移载输送带（11）与输送马达（12）连接；吸板盒（21）包括有吸盘面板（211）、真空逻辑板（212）、气密条（213）及底板（214），吸盘面板（211）下方为真空逻辑板（212），真空逻辑板（212）上设置有多条槽（215）及通孔（216），且多条槽（215）及通孔（216）相连通，真空逻辑板（212）下方连接气密条（213），且表面设置有多个气浮珠（217），且与真空逻辑板（212）的上吸气孔（218）相对应，气密条（213）下方装设有底板（214）。