[实用新型]一种硅片腐蚀清洗机定量补液装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片腐蚀清洗机定量补液装置，包括储液瓶，所述储液瓶左端的上方开设有进液口，所述进液口的上方设置有木橡塞，所述储液瓶上表面的中心位置处设置有电机，该硅片腐蚀清洗机定量补液装置设置有电容液位器，通过电容液位器设定的流量额达到时，反馈给控制器并关闭电磁阀，同时可手动放液至定量漏斗，并通过旋扭转动块，使液体从流通槽流出，并细微的进入定量瓶进行定量，大大保证了补液的精度；同时储液瓶内部设置有弧形的搅拌扇叶，弧形结构的两端口不停的刮擦内壁，使得结晶的碱液脱离，并再次溶解，同时搅拌扇叶上的圆孔减小了碱液的流动阻力，且增加了碱液的流动性，使得碱液溶解的更加充分。

主权项

1.一种硅片腐蚀清洗机定量补液装置，包括储液瓶(1)，其特征在于：所述储液瓶(1)左端的上方开设有进液口(2)，所述进液口(2)的上方设置有木橡塞(3)，所述储液瓶(1)上表面的中心位置处设置有电机(4)，所述电机(4)的下方设置有转动轴(5)，所述转动轴(5)的前后左右四个方位上均设置有搅拌扇叶(6)，所述储液瓶(1)的右侧壁上设置有控制盒(8)，所述控制盒(8)的内部设置有控制器(10)，所述控制器(10)的右端设置有显示屏(9)，所述显示屏(9)的下方设置有控制开关(11)，所述储液瓶(1)的下方开设有出液口(12)，所述出液口(12)的现房设置有第一电磁阀(13)，且出液口(12)通过卡箍与第一电磁阀(13)固定连接，所述第一电磁阀(13)的下方设置有定量瓶(14)，所述定量瓶(14)左端的上方设置有电容液位器(15)，且定量瓶(14)侧壁的前方设置有液位刻度板(23)，所述定量瓶(14)的下方设置有第二电磁阀(16)，所述第一电磁阀(13)、第二电磁阀(16)、电机(4)、电容液位器(15)、控制器(10)和显示屏(9)均与控制开关(11)电性连接，所述控制开关(11)通过电源插座与外界电源电性连接。