[实用新型]一种掩膜版

摘要

本申请公开一种掩膜版，包括：相对设置的第一基板、第二基板、以及位于所述第一基板与所述第二基板之间的极性粒子，所述极性粒子具有吸光或透光作用；所述第一基板包括朝向所述第二基板设置的呈阵列排布的多个驱动电极，所述驱动电极用于接收电信号，并控制所述极性粒子移动到指定驱动电极上，形成预设图案。本实用新型实施例的掩膜版，通过第一基板上的呈阵列分布的驱动电极来控制极性粒子的移动，可以根据实际掩膜需要，将极性粒子移动到指定的驱动电极上，遮光图案灵活可变，可以形成具有不同掩膜图案的掩膜版，通过一张掩膜版实现多张掩膜版的作用，制作工艺简单，可以大幅度降低光刻工艺掩膜版的成本，提升掩膜版的利用率。

主权项

1.一种掩膜版，其特征在于，包括：相对设置的第一基板、第二基板、以及位于所述第一基板与所述第二基板之间的极性粒子，所述极性粒子具有吸光或透光作用；所述第一基板包括朝向所述第二基板设置的呈阵列排布的多个驱动电极，所述驱动电极用于接收电信号，并控制所述极性粒子移动到指定的驱动电极上，形成预设图案。