[实用新型]玻璃硬化光学镀膜腔体有效
| 申请号： | 201820486268.4 | 申请日： | 2018-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN208136322U | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 瞿建强;瞿一涛;黄仕强;陆彬锋 | 申请（专利权）人： | 江阴市光科真空机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人： | 王威钦 |
| 地址： | 214400 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了玻璃硬化光学镀膜腔体，包括腔体本体，腔体本体由腔体顶板、腔体底板及腔体侧板构成，腔体顶板和腔体底板相对设置且平行设置，腔体侧板垂直于腔体顶板设置，腔体底板上固定设置靶材，靶材由若干个丝状或扁条状的靶材体构成，靶材体在腔体底板上均匀设置。本实用新型提前将靶材加工成若干个丝状或扁条状的靶材体，这样等于在腔体底板上均匀摊铺靶材，避免了蒸镀蒸汽在基材上散布不均，在基材上镀得的膜厚薄均一；冷却套和加热套的设置使得对腔体顶板和腔体侧板的冷却更均匀、腔体底板的加热更均匀，并且简化了冷却结构，省去了真空腔体的冷却水管。 | ||
| 搜索关键词： | 腔体底板 靶材 腔体顶板 腔体侧板 本实用新型 光学镀膜 腔体本体 扁条状 基材 腔体 丝状 硬化 玻璃 靶材加工 固定设置 均匀设置 冷却结构 冷却水管 平行设置 相对设置 真空腔体 厚薄 加热套 冷却套 均一 摊铺 蒸镀 加热 蒸汽 冷却 垂直 散布 | ||
【主权项】：
1.玻璃硬化光学镀膜腔体，其特征在于，包括腔体本体，腔体本体由腔体顶板、腔体底板及腔体侧板构成，腔体顶板和腔体底板相对设置且平行设置，腔体侧板垂直于腔体顶板设置，腔体底板上固定设置靶材，靶材由若干个丝状或扁条状的靶材体构成，靶材体在腔体底板上均匀设置。
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