[实用新型]一种悬空二硫化钼柔性离子传感器

摘要

一种悬空二硫化钼柔性离子传感器，包括从上到下连接在一起的氮化硼、二硫化钼、氮化硼，金属电极，柔性基底；所述二硫化钼位于氮化硼下方，位于氮化硼上方；所述二硫化钼和氮化硼、氮化硼组成复合梁结构，梁两端分别与金属电极接触，中间部分悬空；柔性基底位于所述复合梁结构悬空部分下方。氮化硼作为保护层，有效隔绝二硫化钼上下表面与空气，以及空气中的水蒸气接触，防止二硫化钼在空气中退化，悬空结构可以防止二硫化钼与柔性基底直接接触，从而可以避免基底对二硫化钼的散射影响；这种结构可使二硫化钼离子传感器获得更好的检测下限、提高长期稳定性，并且降低基底形变对器件的影响。

主权项

1.一种悬空二硫化钼柔性离子传感器，其特征在于，包括从上到下连接在一起的氮化硼层(2‑1)、二硫化钼层(2‑2)、氮化硼层(2‑3)，金属电极(2‑4)和柔性基底(2‑5)；所述二硫化钼层(2‑2)位于氮化硼层(2‑1)下方，位于氮化硼层(2‑3)上方，且二硫化钼层(2‑2)和氮化硼层(2‑1)、氮化硼层(2‑3)组成复合梁结构，复合梁两端分别与金属电极(2‑4)连接，复合梁中间部分悬空；所述柔性基底(2‑5)位于所述复合梁结构悬空部分下方。