[实用新型]基于MIM波导耦合矩形和双圆环形谐振腔的折射率传感器

摘要

本实用新型提供了一种基于MIM波导耦合矩形和双圆环形谐振腔的折射率传感器，包括并排设置的第一银膜和第四银膜，第一银膜的中部和第四银膜的中部通过连接膜相连接，第一银膜和第四银膜之间并排设置有第一直波导和第二直波导，连接膜上设有矩形谐振腔，第一直波导和第二直波导相对于矩形谐振腔对称设置；第一银膜上设有第一圆环形谐振腔，第一圆环形谐振腔内设有第二银膜，第四银膜上设有第二圆环形谐振腔，第二圆环形谐振腔内设有第三银膜；第一圆环形谐振腔和第二圆环形谐振腔相对于矩形谐振腔对称设置。该折射率传感器体积小、灵敏度高、易于集成，能够有效增强灵敏度，提高耦合效率，降低功耗，提高分辨率。

主权项

1.一种基于MIM波导耦合矩形和双圆环形谐振腔折射率传感器，其特征在于，包括并排设置的第一银膜（1）和第四银膜（9），第一银膜（1）的中部和第四银膜（9）的中部通过连接膜（5）相连接，第一银膜（1）和第四银膜（9）之间并排设置有第一直波导（4）和第二直波导（10），连接膜（5）上设有矩形谐振腔（8），第一直波导（4）和第二直波导（10）相对于矩形谐振腔（8）对称设置；第一银膜（1）上设有第一圆环形谐振腔（2），第一圆环形谐振腔（2）内设有第二银膜（3），第四银膜（9）上设有第二圆环形谐振腔（6），第二圆环形谐振腔（6）内设有第三银膜（7）；第一圆环形谐振腔（2）和第二圆环形谐振腔（6）相对于矩形谐振腔（8）对称设置。