[实用新型]一种二维辅助振动的压印装置

摘要

一种二维辅助振动的压印装置，其包括工作台、XY轴位移台、Z轴位移台、二维微动平台、压印装置、加热板。涂胶后的衬底置于二维微动平台上，XY轴位移台将二维微动平台移动到模板下方，加热板对光刻胶进行预热，光刻胶未达到玻璃化温度，预热完成后，启动二维微动平台并带动衬底实现二维振动，Z轴位移台控制压印装置对衬底进行压印，压印完成后在空气中冷却固化，最后进行振动辅助脱模，本实用新型采用二维微动平台带动衬底实现压印时X轴、Y轴振动，使压印过程产生剪切变形进而使光刻胶非弹性变形或流动，提高模板空腔的填充率，增强压印图案的保真度，提高压印效率，降低脱模时的粘附力，对大尺寸特征以及高纵宽比的微结构压印成型十分有利。

主权项

1.一种二维辅助振动的压印装置，其特征在于，包括工作台、XY轴位移台、Z轴位移台、二维微动平台、连接块、压印装置、加热板，其中，XY轴位移台通过螺钉固定在工作台的底板上，连接块通过螺钉固定在XY轴位移台上，二维微动平台通过螺钉固定在连接块上，Z轴位移台通过螺钉固定在工作台的支撑板上，压印装置中的模板卡盘通过螺钉固定在Z轴位移台上，加热板装卡在压印装置中的模板卡盘上。