[实用新型]一种黑色导电PVD薄膜有效

专利信息
申请号: 201820506832.4 申请日: 2018-04-11
公开(公告)号: CN208121182U 公开(公告)日: 2018-11-20
发明(设计)人: 杜旭颖;阮志明;王大;曾德强;庞文峰 申请(专利权)人: 深圳市正和忠信股份有限公司
主分类号: C23C14/14 分类号: C23C14/14;C23C14/06;C23C14/35
代理公司: 中山市兴华粤专利代理有限公司 44345 代理人: 林红燕
地址: 518117 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型属于真空镀膜技术领域,具体涉及一种基于物理气相沉积(PVD)技术制成的黑色导电PVD薄膜。所述黑色导电PVD薄膜沉积于基材表面,所述黑色导电PVD薄膜由基材表面从下往上依次包括:底层,所述底层为单一金属底层;第一过渡层,所述第一过渡层为钨合金镀层;第二过渡层,所述第二过渡层为钨合金碳化物镀层;功能层,所述功能层为导电碳化物镀层;颜色层,所述颜色层为导电混合镀层。所述黑色导电PVD薄膜的方块电阻为10~2000(Ω/sq),膜厚1~5um,颜色L=28~40,a=‑0.3~0.3,b=‑1~1,硬度:500~1500HV,具有表面光滑细腻,耐腐蚀、耐候性、耐磨擦性能优异、电阻低的特点。
搜索关键词: 导电 过渡层 薄膜 基材表面 功能层 钨合金 颜色层 镀层 物理气相沉积 真空镀膜技术 本实用新型 导电碳化物 耐磨擦性能 碳化物镀层 薄膜沉积 单一金属 方块电阻 混合镀层 耐腐蚀 耐候性 电阻 膜厚
【主权项】:
1.一种黑色导电PVD薄膜,其特征在于:所述黑色导电PVD薄膜沉积于基材表面,所述黑色导电PVD薄膜由基材表面从下往上依次包括:底层,所述底层为单一金属底层;第一过渡层,所述第一过渡层为钨合金镀层;第二过渡层,所述第二过渡层为钨合金碳化物镀层;功能层,所述功能层为导电碳化物镀层;颜色层,所述颜色层为非晶碳和碳化钨的混合镀层。
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