[实用新型]一种平面波导型光分路器晶圆的照胶装置有效
| 申请号： | 201820507564.8 | 申请日： | 2018-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN208341081U | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 余创;刘丹 | 申请（专利权）人： | 武汉驿路通科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/06 | 分类号： | B05D3/06 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 徐杨松 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种平面波导型光分路器晶圆的照胶装置，包括工作台，工作台上开设有通孔，通孔的直径大于待照胶晶圆的直径，通孔上盖设有用于放置待照胶晶圆的透光板；工作台下方设置有UV面光源，且UV面光源的照射区域包括通孔；还包括用于放置在待照胶晶圆上的压块。先将待照胶晶圆放置在通孔上方的透光板上，且待照胶晶圆的玻璃片在晶圆的下方，再用压块从待照胶晶圆的上方压紧待照胶晶圆，最后打开UV面光源，从工作台下方照射待照胶晶圆；由于UV面光源的光线从通孔透过透光板，直接照射到待照胶晶圆的玻璃片一侧，不存在压块等任何挡光物件，仅需一次照胶，提高照胶效率，且照射时间一致，固化度一致，有效提高可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 通孔 面光源 透光板 工作台 压块 平面波导型光分路器 玻璃片 照射 本实用新型 挡光 时间一致 照射区域 直接照射 固化度 物件 上盖 压紧 | ||
【主权项】：
1.一种平面波导型光分路器晶圆的照胶装置，其特征在于，包括工作台(1)，所述工作台(1)上开设有通孔(11)，所述通孔(11)的直径大于待照胶晶圆(2)的直径，所述通孔(11)上盖设有用于放置所述待照胶晶圆(2)的透光板(3)；所述工作台(1)下方设置有UV面光源(4)，且所述UV面光源(4)的照射区域包括所述通孔(11)；还包括用于放置在所述待照胶晶圆(2)上的压块(5)。
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