[实用新型]一种基板缺陷检测装置有效

专利信息
申请号: 201820524934.9 申请日: 2018-04-13
公开(公告)号: CN207992078U 公开(公告)日: 2018-10-19
发明(设计)人: 邢志民;李涛;焦峰 申请(专利权)人: 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司
主分类号: G01N21/89 分类号: G01N21/89
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 210033 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供一种基板缺陷检测装置,包括光源机构、摄像机构、传送机构、图像处理机构,传送机构用于传送基板,光源机构包括第一光源,摄像机构包括第一摄像头,第一光源和第一摄像头均位于基板一侧,且第一光源和第一摄像头镜像对称设置,摄像机构还包括第二摄像头,第二摄像头位于基板另一侧。本实用新型的基板缺陷检测装置,通过在基板正面和背面设置两组摄像头,并通过一组设置在基板正面侧的光源,从而在基板传送过程中,自动检测出基板正面和背面存在的微小裂纹或划痕等不良,及时拦截异常基板,减少大量的基板报废,提高生产良率,降低生产成本。
搜索关键词: 摄像头 基板缺陷检测装置 光源 基板正面 摄像机构 基板 本实用新型 传送机构 光源机构 镜像对称设置 图像处理机构 背面设置 传送基板 基板报废 基板传送 微小裂纹 自动检测 组设置 划痕 良率 两组 背面 拦截 生产
【主权项】:
1.一种基板缺陷检测装置,其特征在于,包括光源机构、摄像机构、用于传送基板的传送机构以及图像处理机构,所述光源机构包括第一光源,所述摄像机构包括第一摄像头和第二摄像头,所述第一光源和第一摄像头位于基板的同一侧,且所述第一光源和第一摄像头呈镜像对称设置,第一光源和第一摄像头之间形成大于0°小于180°的夹角,所述第二摄像头位于基板的另一侧。
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