[实用新型]一种硬软抛一体机有效
| 申请号： | 201820534272.3 | 申请日： | 2018-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN208084103U | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 蔡家豪;杨丽莉;陈家宽;汪其长;冯克耀;邱智中;蔡吉明 | 申请（专利权）人： | 安徽三安光电有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B27/00;B24B57/02;B24B57/00;B24B37/013 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种硬软抛一体机，至少包括硬软抛盘、位于硬软抛盘下方的研磨盘气缸和回收硬软抛混合液的硬软抛液回收槽、位于硬软抛盘上方的研磨装置、硬抛液喷头和软抛液喷头，所述硬抛液喷头通过第一供给管路与硬抛液储存装置连接，所述软抛液喷头通过第二供给管路与软抛液储存装置连接，其特征在于：所述硬软抛盘为硬抛盘面和软抛盘面镶嵌组合，研磨盘气缸驱动软抛盘面相对于硬抛盘面升降。本实用新型通过将硬抛盘和软抛盘镶嵌设置形成硬软抛盘，从而节约硬软抛的时间，降低人员劳动力，提高工作效率；另外，将使用后硬软抛混合液经过滤后作为软抛液重复利用，节省了硬、软抛液的使用，进而降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 抛盘 喷头 盘面 本实用新型 储存装置 供给管路 混合液 研磨盘 一体机 半导体设备 工作效率 气缸驱动 镶嵌设置 镶嵌组合 研磨装置 液回收槽 重复利用 气缸 升降 回收 节约 | ||
【主权项】：
1.一种硬软抛一体机，至少包括硬软抛盘、位于硬软抛盘下方的研磨盘气缸和回收硬软抛混合液的硬软抛液回收槽、位于硬软抛盘上方的研磨装置、硬抛液喷头和软抛液喷头，所述硬抛液喷头通过第一供给管路与硬抛液储存装置连接，所述软抛液喷头通过第二供给管路与软抛液储存装置连接，其特征在于：所述硬软抛盘为硬抛盘面和软抛盘面镶嵌组合，研磨盘气缸驱动软抛盘面相对于硬抛盘面升降。
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