[实用新型]一种AlN陶瓷金属化敷铜基板有效

专利信息
申请号: 201820543071.X 申请日: 2018-04-17
公开(公告)号: CN208087501U 公开(公告)日: 2018-11-13
发明(设计)人: 黄友强;陈科成;王疆瑛 申请(专利权)人: 中国计量大学
主分类号: C04B41/88 分类号: C04B41/88;C04B35/581
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 310018 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种AlN陶瓷金属化敷铜基板,其特征在于,包括AlN衬底、Cu、Ti、Ni、W膜和敷接铜片层,所述Cu、Ti、Ni、W膜涂敷在AlN表面,所述Cu片层敷接于Cu、Ti、Ni、W膜之上。本实用新型关键的制备工艺都在管式炉中完成且无需还原性气体,所用碳粉可以循环利用成本低且制备得到的AlN陶瓷金属化敷铜基板附着力好,导电散热性能优异,适合大规模生产。
搜索关键词: 陶瓷金属化 敷铜 基板 附着力 本实用新型 还原性气体 散热性能 循环利用 制备工艺 管式炉 铜片层 导电 衬底 膜涂 片层 碳粉 制备
【主权项】:
1.一种AlN陶瓷金属化敷铜基板,其特征在于,包括AlN衬底、Cu、Ti、Ni、W膜和敷接铜片层,所述Cu、Ti、Ni、W膜涂敷在AlN表面,所述Cu片层敷接于Cu、Ti、Ni、W膜之上。
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