[实用新型]一种可延长清理周期的喷淋板有效
| 申请号： | 201820544786.7 | 申请日： | 2018-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN208501096U | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 姚良 | 申请（专利权）人： | 江苏微导纳米装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 朱少华 |
| 地址： | 214028 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可延长清理周期的喷淋板：喷淋板设内部气体分布管；所述的内部气体分布管均设有喷淋孔组，所述每一个喷淋孔组由若干个与反应腔连通的喷淋孔组成,反应气体从喷淋孔喷出进入反应腔；所述喷淋板表面、内部气体分布管的管壁、喷淋孔的孔壁上均涂覆特氟龙涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 喷淋孔 内部气体 分布管 喷淋板 反应腔 特氟龙涂层 反应气体 管壁 孔壁 喷出 喷淋 涂覆 连通 | ||
【主权项】：
1.一种可延长清理周期的喷淋板：喷淋板设内部气体分布管；所述的内部气体分布管均设有喷淋孔组，每一个喷淋孔组由若干个与反应腔连通的喷淋孔组成,反应气体从喷淋孔喷出进入反应腔；其特征在于：所述喷淋板表面、内部气体分布管的管壁及喷淋孔的孔壁上均涂覆特氟龙涂层。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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